Автор работы: Пользователь скрыл имя, 26 Сентября 2013 в 20:02, курсовая работа
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) ~ интегрированные устройства или системы, рассматриваемые на микроу¬ровне, которые объединяют в себе механи¬ческие и электронные компоненты с помощью группового метода изготовления интегральных схем. МЭМС способны обнаруживать, контролировать и активи¬зировать механические процессы для выполнения сложных функций по инфор-матике.