Автор работы: Пользователь скрыл имя, 25 Октября 2011 в 17:38, курсовая работа
Использование низкоэнергетического корпускулярного излучения обеспечивает качественно новый уровень решения современных технологических задач при производстве материалов электронной техники и фундаментальных физических проблем. Широкое применение ионно-лучевой технологии и физических приборов с активными элементами в виде потока заряженных частиц вызывает повышенный интерес к процессам взаимодействия ускоренных ионов с твёрдым телом.
Введение ………………………………………………………………………….…..2
Общие сведения о явлении ионно-фотонной эмиссии (ИФЭ)………………….……3
Приборы и оборудование для ионно-фотонной спектроскопии (ИФС)………….…5
Источники ионов……………………………………………………………....6
Камера взаимодействия и система вакуумной откачки……………………..7
Регистрация электромагнитного излучения………………………………...8
Экспериментальное исследование Ионно-фотонной эмиссии…………………….11
Теоретические представления о возможных механизмах образования распыленных возбужденных частиц при ионной бомбардировке твердых тел………………………………………………………………………..15
Применение ИФС для диагностики поверхности твердых тел…………………….21
Заключение. Перспективы развития метода…………………………………………27
Список литературы……………………………………………………………………28