Нанослои gex si1-x на кремнии, полученые методом микроразмерных ростовых ячеек
Статья, 09 Ноября 2012, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
В настоящей статье показана возможность получения однородных слоёв твердого раствора Gex Si1-x различного состава на кремниевых подложках большого диаметра методом микроразмерных ростовых ячеек.